Nguyên tắc làm việc của máy làm sạch công nghiệp

Nguyên tắc làm việc của máy làm sạch công nghiệp chủ yếu bao gồm các loại sau:

Máy làm sạch huyết tương chân không: Làm sạch bề mặt mẫu và loại bỏ bụi bẩn bằng cách tạo ra huyết tương tần số cao. Tính đồng nhất của huyết tương và độ bao phủ của mẫu là rất quan trọng. Hiệu ứng làm sạch tốt hơn ở vị trí gần với nguồn plasma, nhưng tính đồng nhất làm sạch có thể được đảm bảo tốt hơn ở vị trí xa.

Máy làm sạch siêu âm: Sử dụng hiệu ứng xâm thực của sóng siêu âm trong chất lỏng để loại bỏ bụi bẩn khỏi bề mặt phôi. Máy phát siêu âm chuyển đổi năng lượng điện thành năng lượng điện tần số cao, được chuyển đổi thành các rung động cơ học thông qua đầu dò siêu âm. Những rung động này lan truyền trong chất lỏng làm sạch để tạo thành vô số bong bóng nhỏ. Những bong bóng này mở rộng và vỡ nhanh chóng dưới tác động của sóng siêu âm, tạo ra sóng xung kích mạnh mẽ và microjets, do đó loại bỏ bụi bẩn khỏi bề mặt của phôi.

Máy làm sạch laser: Chùm tia laser tập trung vào bề mặt của vật thể thông qua hệ thống quang học để tạo thành khu vực laser với mật độ năng lượng cao. Tia laser chiếu xạ bề mặt của vật thể, ngay lập tức làm nóng vật liệu bề mặt đến nhiệt độ cao, khiến vật liệu tan chảy, khí hóa hoặc bay hơi, do đó loại bỏ các tạp chất như bụi bẩn, oxit và vết dầu. Một hệ thống làm mát xung quanh chùm tia laser ngăn nhiệt làm hỏng vật thể.